3.1 优化涂层结构增韧
①梯度结构增韧
梯度中间层增韧是一种有效抑制裂纹形成和扩展,提高涂层韧性的方法。在均质单一涂层中,所期望的特性往往很难同时实现。因此,使用由一系列涂层材料构成的梯度结构涂层,更容易满足不同需求。在梯度设计中,基底首先涂覆一层高粘附层,然后随涂层厚度逐渐增加,通过改变沉积件逐渐改变涂层成分或结构。Wang等人在磁控溅射纳米涂层时通过调整靶功率,制备了非均匀梯度结构的CrAlSiN纳米复合涂层。其韧性与单层CrAlSiN相比提升了300%,而硬度仍保持在25GPa左右。该涂层兼具了高韧性与高硬度。在其它梯度涂层体系中,例如,TiCN,TiC-TiCN-TiC-DLC和 Ti-TiC-DLC等,也有高硬度兼具高韧性的报道[7-10]。
②仿生结构增韧
仿生结构增韧是指模仿既硬且韧的自然生物界物质的构造,制备涂层,使涂层的结构类似于生物质本身,从而获得既硬且韧涂层的一种方法。徐等人依据贝壳的结构特性,制备了类似贝壳结构的涂层。研究中采用辉光等离子沉积技术制备了 MoSi2 为基础的自组装多层梯度结构的MMC(MoSi2和 Mo5Si3)涂层,涂层由硬软交替的MoSi2和Mo5Si3层组成,在涂层最外层即最上层MoSi2占主导,在最外层 MoSi2层的下面就是Mo5Si3和MoSi2层,最后形成加上基底层总共6层的多层结构,如图3.1所示[11]。
图3.1 MMC涂层示意图及亮场TEM图像
随着涂层厚度增加,Mo5Si3层的厚度和粒径增大,软的Mo5Si3层涂覆在基底上。对单一Mo5Si3和MoSi2涂层还有MMC分别进行压痕测试,结果表明MMC涂层的硬度最高,弹性模量也最高。通过涂层的Vickers压痕测试和剪切滑移评估,发现MMC涂层韧性最好。
③多层膜结构增韧
多层膜结构是提高硬质涂层硬度和韧性的一种有效途径。多层膜结构增韧通过以下主要机理实现:层间界面处的裂纹偏转,延展层韧带桥接和中间层塑性变形造成的裂纹尖端钝化(如图3.2所示)[12-15],此外多层化还会导致最大缺陷(空的柱状晶界)被反复打断,从而抑制应力集中而增韧[16]。需要注意的是在多层膜结构设计中,中间层数量,子层的厚度和不同过渡层的厚度比等,这些因素共同作用,影响了涂层的韧性,随着多层膜增韧的研究进展,中间层晶体结构等影响因素在设计涂层时也需要考虑[17]。
图3.2 多层膜主要增韧机理示意图
Wo等人制备了含有TiSiN梯度层的TiN/TiSiN多层膜结构涂层,研究结果发现含有厚度为10nm 和50nmTiSiN层的多层膜结构涂层,其硬度均高于TiN单层的硬度,且韧性比单一TiN和TiSiN涂层都更高[18]。Suresha和 Lee等发现 TiN/AlTiN多层膜比TiN单层膜能更好抵抗裂纹形成和扩展,多层膜的韧性更高[19-20]。Karimi等人制备了各种纳米结构的TiAlN(Si,C)薄膜,发现多层膜TiAlN的综合力学性能最好[21]。CrN/AlN多层膜也显示了类似的性能。Wang等人通过交替沉积硬质CrAlSiN纳米复合薄膜和软质多晶CrAlN(pc-CrAlN)薄膜,获得了多层膜结构涂层CrAlSiN/CrAlN,研究结果表明该多层膜结构涂层具有良好的韧性[22-23]。
④其他优化结构增韧
通过优化结构增韧已成为涂层增韧的重要途径,除了以上几种途径,近年来很多研究者发现通过减小缺陷尺寸,如致密化等,可以达到在损失硬度的同时提高涂层韧性。Xu等人通过双层辉光离子技术制备了纳米三明治结构的三元系致密Ti-B-N涂层,硬度可达55GPa,弹性模量高达456GPa。硬度高于纳米复合涂层nc-TiN/a-(TiB2,BN)和二元系TiB涂层的硬度[24]。通过纳米压痕测试得知三元系Ti-B-N涂层的韧性比二元系TiB涂层的韧性更好。韧性提高是通过优化涂层结构,提高涂层致密性获得。制备的涂层中纳米晶TiN颗粒通过几个原子层彼此紧密结合,且在Ti(N,B)层发现厚度约为3.5nm的高致密纳米尺寸孪晶。TiN纳米晶体层抑制了剪切带在相邻层的扩展,促进剪切带在自身层内的形成;此外孪晶增强了涂层的延展性,上述双重作用使涂层的韧性获得了提高。此外,Wang等人通过改变偏压,制备的CrAlN涂层,在负偏压为210V和260V时,涂层呈现玻璃态致密结构,此时硬度和韧性均比负偏压为50V和160V时好[25]。
3.2 Ni对AT13涂层磨损性能的增强
①力学性能的增强
图3.3是不同涂层的结合强度和显微硬度对比图。由图3.3(a)可知,Ni含量为30%的涂层的结合强度最高,达到了19.68 MPa, AT13涂层最低,只有11.07 MPa。这是因为等离子喷涂涂层和基体的热膨胀系数失配会导致残余应力的产生,而界面处往往存在着应力集中,所以涂层与基体的结合强度不高, Ni的热膨胀系数较AT13粉末而言与基体更为接近,Ni的加入一定程度上减少了残余应力,提高了涂层的结合强度。由图3.3(b)可知,AT13涂层的显微硬度最高,达到了715.07 HV0.3,随着Ni含量的增多,显微硬度逐渐降低,Ni含量为60%的涂层仅有415.6 HV0.3。这是因为Ni的硬度与AT13硬度相比本身就比较低,Ni的加入降低了涂层的整体硬度,Ni质量分数越高,涂层硬度就越低[26]。
图3.3 不同Ni质量分数对Ni/AT13复合涂层的力学性能
②摩擦磨损性能的增强
下图是不同Ni含量的Ni/AT13复合涂层磨损率的柱状图。由图3.4可知,Ni的加入明显地降低了涂层的磨损率。其中AT13涂层磨损率最大,达到了35.4 mm3·N-1·m-1,随着Ni的加入,涂层的磨损率大幅降低,10%涂层磨损率为5.21 mm3·N-1·m-1,与AT13涂层相比降低了85.3%。但同时可以观察到, 随着Ni含量的增多,磨损率降低的幅度减小,如50%涂层磨损率相比于30%涂层仅仅降低了10.2%[26]。
图3.4不同Ni质量分数对Ni/AT13复合涂层磨损率